真空泵使用时间长了里边就该产生一些杂质，由于起攻击主要是用水，由于工艺用水、 钙镁硬度、PH值、电导率、总碱度、温度等因素产生结垢现象，容易产生一些类似水壶里的水锈类型的物质从而危害真空泵的正常使用，从而造成如下危害：
1. 增大非计划停机次数，造成生产间断，影响装置的生产效率。停机清洗，增加维修费用和额外的劳动负荷；
2. 增大化学品的消耗和污染负荷；
3. 造成生产事故，减少设备寿命；
4. 增大能耗损失。
解决方法：
传统修复方法有停机化学清洗、停机高压水清洗、添加阻垢剂、人工机械清洗、停机拆卸更换等方法，但较为费时费力，且修复效果并不理想。针对上述问题，国外先进的维护方法多使用电子除垢仪解决。相对传统维修方法，电子除垢仪在操作限制、防止管垢形成、防锈预防细菌等方面更为出色，同时费用支出更少，不污染环境和水质，在真空泵的维护保养方面有了越来越多的应用。